真空紫外光常應用於半導體製作、光化學及材料科學等領域，聚焦真空紫外光光源亦廣泛應用於微納光刻、材料處理、先進製作及其他高端工業領域。香港城市大學團隊研發一款真空紫外光超構透鏡，由150納米長的三角形氧化鋅納米天線陣列組合成，能產生及聚焦真空紫外光，論文已發表在學術期刊《科學進展》上。
超構透鏡可將波長394納米的紫外光（藍色）轉為波長197納米的真空紫外光（粉紅色），再聚焦於直徑小於200萬分之1米的小點上。（城大提供圖片）
新型真空紫外光超構透鏡直徑45微米，可把波長394納米的紫外光轉化為波長197納米的真空紫外光，並將之聚焦於直徑小於200萬分之1米的小點上。美國萊斯大學測試後發現，聚焦光點功率密度增強了21倍。城大電機工程學系講座教授蔡定平指出，團隊研發的真空紫外光超構透鏡輕巧、高效能，且可通過半導體電子製造過程大量生產。
蔡定平教授（右）稱，其真空紫外光超構透鏡，不但輕巧、高效能，亦可大量生產；旁為陳沐谷博士。（城大提供圖片）
